학술대회 목록보기 번호 제목 1 CVD법으로 제조된 알루미늄, 구리 및 확산방지막의 증착특성|Aluminum and Copper with the respective barrier CVD김도형|Do-Heyoung Kim한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 1 2 3 4 5 6