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Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas 주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas. 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Focused Ion Beam에 의한 GaN Etching의 특성분석 김홍렬, 안재희, 김지현 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas) 박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Thermal stability of chemical vapor deposited Ru thin films on TiN substrate and SiO2 substrate 김범석, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture) 백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma) 주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma 조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Preparation and Application of Patternable Bottom Antireflective Coating Material 허근, 권기옥, 차상호, 윤상웅, 이무영, 이종찬 한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각 민수련, 조한나, 임성근, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |