화학공학소재연구정보센터
번호 제목
41 Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
40 Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
39 Focused Ion Beam에 의한 GaN Etching의 특성분석
김홍렬, 안재희, 김지현
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
38 O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
37 Thermal stability of chemical vapor deposited Ru thin films on TiN substrate and SiO2 substrate
김범석, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
36 SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture)
백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
35 N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma)
주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
34 Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma
조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
33 Preparation and Application of Patternable Bottom Antireflective Coating Material
허근, 권기옥, 차상호, 윤상웅, 이무영, 이종찬
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회
32 Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회