화학공학소재연구정보센터
번호 제목
299 Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor
임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
298 Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
297 The Development of  stress controllable ALD_LFW Process  and System                       
H Sunwoo, DW Kim, SJ Jung, ID Jo, JH Jung, WJ Yoon, JH Jeon
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
296 Study on massive and eco-friendly strategy for fabricating nanoporous anodic aluminum oxides and their applications
홍영기, 정석환, 김선국, 박동혁
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
295 GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구
김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
294 Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석
양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
293 Aqueous-Phase Synthesis with Shape-Controlled Process of ZnO and Application
정지용, 이정희, 김동휘, 이재영, 유태경
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
292 Photochemical etching study on (-201) and (010) plane β-Ga2O3 single crystal
정선우, 백광현, 장수환
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
291 Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
290 3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회