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Microporous SiCOH Thin Films with Low Dielectric Constants and high Young’s Modulus
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane (ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Supramolecular Assembly of End Functionalized Polymer blend in solvent-annealed thin film
송지영, 박철민, 허준
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Quartz Crystal Microbalance(QCM, GaPO4 sensor)을 활용한 Tris-PYS(TPS) precursor의 Silicon Oxide 원자층 증착 메카니즘 분석에 관한 연구
박재민, 진광선, 박광민, 이원준
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
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High power, high frequency PECVD 로 증착한 SiNx:H 반사방지막의 화학적 조성 및 광학적 특성 평가
이민정, 박지현, 이동원, 최대규, 이태일, 명재민
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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RF sputter를 이용하여 증착된 AZO (Al2O3 doped ZnO)박막의 전자빔 처리를 이용한 특성 향상에 관한 연구
김화정, 김용환, 정채환
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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스퍼터링 방법을 통해 증착된 비정질 실리콘 박막의 전자빔 결정화에 대한 연구
나현식, 이동욱, 남대천, 최연조, 정채환
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Solution Process를 이용한 태양전지용 Amorphous Silicon(a-Si)의 제조공정개발
김주회, 나용범, 김영주, 김선웅, 정채환
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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RF 스퍼터링법으로 형성한 ZnO 박막의 광전특성
조영범, 김준, 변창섭, 김선태
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
