화학공학소재연구정보센터
번호 제목
35 A study on patterning over-cladding using Fluorinated copolymer as a material of planar lightwave circuit(PLC)
이우균, 김영식, 위성유, 정진숙, 김진봉
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
34 Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
33 Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
32 Focused Ion Beam에 의한 GaN Etching의 특성분석
김홍렬, 안재희, 김지현
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
31 Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
30 Characterization of Non-oxide SiC Ceramics and the Fabrication of Microfluidic Channels
박준홍, 이동훈, 윤태호, 이홍주, 김동표
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
29 Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas
강동진, 이건교, 이병택
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
28 Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasma Etching of SiO2: Multivariable Controller Design and Numerical Application
서승택, 이광순, 양대륙, 최범규
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
27 Atomic scale etching of poly-Si in inductively coupled Ar and He plasmas
김태호, 민재호, 문상흡, 윤형진, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
26 반구 형태로 패턴된 사파이어 기판을 이용한 외부양자효율 개선|Improvement of External Quantum Efficiency Using Hemisphere Patterned Sapphire Substrate
이종재, 김상묵, 김광철, 이상헌, 전성란, 이승재, 김윤석, 백종협, 신동찬
한국재료학회 2005년 가을 학술대회