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A study on patterning over-cladding using Fluorinated copolymer as a material of planar lightwave circuit(PLC) 이우균, 김영식, 위성유, 정진숙, 김진봉 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
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Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas 주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas. 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Focused Ion Beam에 의한 GaN Etching의 특성분석 김홍렬, 안재희, 김지현 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향 조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characterization of Non-oxide SiC Ceramics and the Fabrication of Microfluidic Channels 박준홍, 이동훈, 윤태호, 이홍주, 김동표 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas 강동진, 이건교, 이병택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasma Etching of SiO2: Multivariable Controller Design and Numerical Application 서승택, 이광순, 양대륙, 최범규 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Atomic scale etching of poly-Si in inductively coupled Ar and He plasmas 김태호, 민재호, 문상흡, 윤형진, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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반구 형태로 패턴된 사파이어 기판을 이용한 외부양자효율 개선|Improvement of External Quantum Efficiency Using Hemisphere Patterned Sapphire Substrate 이종재, 김상묵, 김광철, 이상헌, 전성란, 이승재, 김윤석, 백종협, 신동찬 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |