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Materials engineering of functional thin films deposited onto polyester film substrate Satoru IWAMORI 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Adsorption properties for low molecular weight volatile organic compounds in fluorocarbon thin films deposited onto quartz crystal by an r.f. sputtering and spin coating Yasutaka OHNISHI, Satoru IWAMORI 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model 육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Selective oxidation of H2 over supported Pd catalyst in the presence of CO 신채호, 문흥만, 이송호, 강동창, 김은정 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Fluorinated graphene oxide/Nafion composite membrane for DMFC applications 유호연, 조창기 한국고분자학회 2014년 가을 학술대회 |