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Role of Hydrogen Plasma Pretreatment on Superconformal Nanoscale Gap-Filling of Cu-Al Alloy
문학기, 이내응
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect
문대용, 한동석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film.
한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Effect of supercritical fluid on Aluminium cleaning using carbon dioxide
김경환, 장원호, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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The Effect of Topographic Pattern On Surface Micelles Formation of Poly(styrene-block-4-hydroxystyrene) Copolymer
이근탁, 윤보경, 히마드리, Hiroshi Ito, 김호철, 허준, 박철민
한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
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Supercritical carbon dioxide extraction of mineral and gasoline oil contaminants from trench of Cu, Carbon steel substrates
김경환, 유기풍, 김민성, 장원호
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거
김진수, 이승호, 박진구
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Analysis of seed layer profiles inside the vias
김창규, 이원종
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Crosslinkable Polynorbornene with Phenylethynyl Groups for the Trilayer Photoresist System
우희제, 오세원, 차국헌
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
