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3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole 육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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DME 플랜트 개질가스에서 CO2 분리를 위한 분리막 모듈 개발 정종태, 조원준, 모용기, 이충섭, 하성용, 백영순 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas 조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Facilitated transport membranes containing silver halide nanoparticles for propylene/propane separation 김동준, 전하림, 김진규, 이창수, 김종학 한국공업화학회 2013년 가을 학술대회 |
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Electrochemical separation of hydrogen from the mixture with methane using Palladium-Nafion composite membranes 김보경, 이태근, 류원선 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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O2/N2 separation characteristics of PES asymmetric hollow fiber membrane 김지상, 안효성, 김정훈 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process 조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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Preparation of asymmetric polysulfone hollow fiber membranes with high gas permeability 최종진, 황해영, 남상용 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |