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FRAM 소자 응용을 위한 SrBi2Ta2O9 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of SrBi2Ta2O9 Thin Films for FRAM pplication
박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe
박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 반도체 재료 식각기술|Etching Technology of Semiconductor Materials in High Density Plasmas
한윤봉|Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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강유전체 메모리 소자를 위한 Ir 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Iridium Thin Film for Ferroelectric Random Access Memory
임동규, 정지원|Dongkyu Lim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마 발생자치 2차원 모델링|Two-Dimensional Modeling of High Density Plasma Source
이상덕, 윤창연, S. Berezhnoj, 신치범|Sang Duk Lee, Chang Yeon Yoon, S. Berezhnoj
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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새로운 Attractive Term을 이용한 Perturbed Hard-Sphere-Chain 상태방정식의 변형|Modification of Perturbed Hard-Sphere-Chain Equation of State by Introducing New Attractive Term
김인하, 배영찬|In Ha Kim, Young Chan Bae
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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고밀도 고강도 탈황제 분무건조 성형 기술|High Density and Attrition Resistance Sorbent by Spray Drying Technique
위영호, 이중범, 류청걸, 최낙균|Wi Young Ho, Lee Joong Beom, Ryu Chong Kul, Choi Nak Kyun
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching 특성|Etching Characteristics of Platinum Electrode for High Density Memory Devices
임동규, 김종성, 정지원|Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Chee Won Kim
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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등밀도 스티렌 시드유화중합의 모델링과 모사에 관한 연구|Modeling and Simulation of Equal Density Seeded Emulsion Polymerization of Styrene
정인우, 김중현|In-Woo Cheong, Jung-Hyun Kim
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
