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반도체 습식 세정 기술 개발 동향 및 계면화학을 응용한 세정제 개발 송명근 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Improvement of line edge fluctuation and etching selectivity of self-assembled block copolymer patterns using a copolymerized block 송승원, 정연식 한국고분자학회 2017년 가을 학술대회 |
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Study on the Surface Potential Defects Behavior of P-type silicon wafer 신정원, 함호찬 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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나노미터급에서 Magnetic tunneling junction 물질의 etch damage 개선에 관한 연구 양경채, 김수강, 이호석, 염근영 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Growth and Optical Properties of Rare-earth Doped Y3Al5O12 Single Crystals Grown by the Czochralski Method Jang Bo Shim, Young Kuk Lee 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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폭발물 탐지용 Bragg 적층 반도체칩 센서 플랫폼 개발에 관한 연구 노영인, 김도희, 김영현, 손홍래 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma 박창진, 김창구 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma 육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice 이재용, 최재상, 조두현, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |