화학공학소재연구정보센터
번호 제목
289 반도체 습식 세정 기술 개발 동향 및 계면화학을 응용한 세정제 개발
송명근
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회
288 Improvement of line edge fluctuation and etching selectivity of self-assembled block copolymer patterns using a copolymerized block
송승원, 정연식
한국고분자학회 2017년 가을 학술대회
287 Study on the Surface Potential Defects Behavior of P-type silicon wafer
신정원, 함호찬
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
286 나노미터급에서 Magnetic tunneling junction 물질의 etch damage 개선에 관한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 염근영
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
285 Growth and Optical Properties of Rare-earth Doped Y3Al5O12 Single Crystals Grown by the Czochralski Method
Jang Bo Shim, Young Kuk Lee
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
284 폭발물 탐지용 Bragg 적층 반도체칩 센서 플랫폼 개발에 관한 연구
노영인, 김도희, 김영현, 손홍래
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
283 Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma
박창진, 김창구
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
282 3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon  Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
281 Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma
육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
280 Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice
이재용, 최재상, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회