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Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Cu CMP에서 나노 콜로이달 입자의 크기가 연마제거율과 Cu/TaN 선택비에 미치는 영향|Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP
박진형, 김민석, 백운규, 박재근
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
| 13 |
Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Synthesis and Catalytic Application of Tantalum-Pillared Kenyaite
정 헌, 주오심, 정광덕, 강태범, 김선진
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
| 11 |
Synthesis of Ta nanoparticles by hydrogen reduction of TaCl5
서용재, 박균영
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 10 |
Photocatalytic water splitting using Strontium niobium oxynitride under visible light irradiation
지상민, 김현규, 장점석, 배상원, 이재성
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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열플라즈마법에 의한 금속 탄탈륨의 정련에 관한 연구|Refining of tantalum metal by plasma arc melting
최국선, 엄현용, 한만갑, 서창열, 조성욱, 김원백
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition
엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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생체재료용 다공질 Ta 제조 및 소결특성|Synthesis of porous Ta and its sintering properties for biomaterial use
이상일, 이종현, H.H. Nersisyan, 원창환
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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질산망간의 건식-복사열분해 온도에 따른 탄탈륨콘덴서 특성 연구|A Study on the Characteristics of Tantalum Condenser over the Pyrolysis Temperature of Manganese nitrate by using Dry-radiational furnace
김재근, 유지영, 유형진, 여태환|Jaekun Kim, Jeeyoung Yoo, Hyungjin Yu, Taewhan Yeu
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
