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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구|A study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas
장수욱, 류현우, 최충기, 문준희, 이장희, 유승열, 임완태, 이제원, 전민현, 조관식, 송한정, 백인규, 권민철, 문성진, 신동현
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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The application of atmospheric pressure plasma on the surface cleaning
정미희, 권오준, 양인영, 최호석
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code
서승택, 이용희, 이광순
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Hot Embossing에서의 Substrate 두께와 공정 온도와의 관계|Relation between Substrate Thickness and Process Temperature in Hot Embossing
박창화, 김인권, 임현우, 차남구, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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High Density Plasma Etching of Magnetic Multi-layers of NiFe/Co and NiFe/Al-O/Co
라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Adsorption Equilibria for PFC at Low Concentration on Activated Carbon
신지영, 서성섭
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각
박형조, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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ATRP를 이용한 Poly(4-hydroxystyrene)과 공중합물의 중합과 Deep-UV용 Positive Resist로의 응용에 대한 연구
윤종원, 김준영, 김태호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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PLC 기술 기반의 저 가격, 고성능, 고신뢰성 고분자 광소자
이형종, 김태균, 김지향, 김재일, 김무용, 이종휘, 한선규
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Polymer TFT Technology using Rubber Stamp Printing
문대규
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
