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비정질 실리콘 박막의 고온 고상결정화 거동
오성재, 홍원의, 노재상
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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엑사이머 레이저와 고상결정화법을 이용한 다결정 실리콘의 제조에 관한 연구
강나영, 이해성, 남승의
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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대면적 OLED 기술 개발 동향
김남덕, 최준후, 최범락, 허종무, 고준철, 정재훈, 정진구, 이동원, 정규하
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Atomic scale etching of poly-Si in inductively coupled Ar and He plasmas
김태호, 민재호, 문상흡, 윤형진, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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기상유도결정화를 이용한 AMOLED 박막트랜지스터용 대구경 결정립을 가진 다결정실리콘 박막 성장|Growth of polycrystalline Si film with very large grain sizes using vapor induced crystallization for AMOLED TFTS
엄지혜, 안병태
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Ru/Ti bilayer metal electrode를 이용한 게이트 일함수 조절|Workfunction tunability of Ru-Ti bilayer structure for metal gate electrode
고한경, 이태호, 박인성, 김경래, 이상설, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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전계유도 방향성 결정화 특성과 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 제작|Characterization of Field Aided Lateral Crystalization(FALC) and fabrication of low temperature poly-si TFT
장현웅, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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전계 유도 방향성 결정화 공정시 비정질 실리콘 박막의 결정화에 미치는 AC전압의 영향|Influence of AC-voltage on the crystallization of amorphous silicon thin film during field aided lateral crystallization process
최성화, 김영배, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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화학기상증착법으로 성장된 silane-based와 DCS-based WSix 박막의 특성평가|Characterization of silane-based and DCS-based WSix thin films deposited by chemical vapor deposition
안은정, 김경원, 정칠성, 김호정, 이순영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Metal gate 적용을 위한 Mo based electrode의 열적 안정성 평가|Thermal stability of Mo based electrode for metal gate application
이진우, 김지영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
