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Characteristics of ZnO thin film Deposited by Atomic Layer Deposition Method
Jae-Sung Hur, Chang-Sik Son, Jeong-Seop Lee, Byoung-Hoon Lee, Jung-Bin Song, Dong Gun Lee, Sam Seok Jang, Dongjin Byun, Jong-Hyeob Baek, In-Hoon Choi
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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저순도 산소 생산을 위한 PSA공정의 성능평가
서성정, 서성섭
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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Preparation of photocatalytic TiO2 thin films by atomic layer deposition using TDMAT and H2O2
로자나, 김도형
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Preparation of photocatalytic TiO2 thin films by atomic layer deposition using TDMAT and H2O2
로자나, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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PEALD 방법으로 증착된 La2O3 게이트 산화물 박막의 전기적 특성|Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
이은주, 김범용, 고명균, 박종완
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Silicate Films
김재현, 용기중
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method
황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Adsorption Equilibrium and Thermal Regeneration of Acetone Vapor in Activated Carbon and Dealuminated Y-zeolite
김종화, 이창하, 이태규, 김우식
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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수소혼합기체를 사용한 PSA공정의 흡착동특성 해석
김현석, 이창하, 김민배
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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A Study of Adsorption of CF4 and C2F6 in Activated Carbon Bed
신지영, 강성원, 서성섭
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
