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Atomic layer deposition을 이용한 Hf-silicate 박막 증착과 이를 이용한 펜타센 박막 트랜지스터의 성능 향상
이승협, 용기중
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications
Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Surfaceeffect of photo-alignment layer containing fluorine
이상구, 신성의, 신동명
한국고분자학회 2008년 가을 학술대회 |
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NO, NOx and SO2 removal using Ag(II)/Ag(I) redox mediator : Feed loading effect
정상준, 찬드라세카라 필라이, 유근동, 김병현, 문일식
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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TPSR(Temperature Programmed Surface Reaction)을 이용한 H2/CO 비 변화에 따른 메탄화 반응 특성
김수현, 유영돈, 서민혜, 김형택
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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CFD Modeling of Reaction on Titanium Nitride Byproducts in CVD Trap System
방창현, 정동훈, 채희엽, 이승일, 조재효
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Synthesis and characterization of nanocrystalline tin oxide by Catalytic surface reaction method for ITO target
안우성, 임선권, 양승호
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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CVD/ALD process monitoring system (2)(The evaluation of a precursor using FT-IR spectroscopy, thermal analysis, and the deposition chamber)
강상우, 윤주영, 성대진, 신용현, 이시우, 송문균
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Characteristics of ZnO thin film Deposited by Atomic Layer Deposition Method
송정빈, 허재성, 이동건, 장삼석, 이병훈, 변동진, 손창식, 최인훈
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
