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저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및물성 분석
고천광, 이원규
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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PLD 법으로 증착된 Doped SrTiO3 박막의 저항변화 연구
정철호, 이재찬, 최택집, Phan Bach Thang, 박지현, 정숙진
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD
조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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PLD에 의해 성장된 크롬 도핑된 박막의 저항 변화|SWITCHABLE RESISTANCE CHANGE OF Cr-DOPED SrTiO3 THIN FILMS GROWN BY PULSED LASER DEPOSITION
정철호, 최택집, Phan Bach Thang, 이재찬
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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TiO2 박막의 다층 증착에 의한 Re-RAM 특성 변화|Characterization of TiO2 deposited layer by layer for Re-RAM
김경래, 이태호, 박인성, 고한경, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Nanoporous Organosilicate Thin Films Prepared with Adamantane Grafted Porogen
김성익, 차봉준, 차국헌
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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다양한 슬러리 조건에서의 Ru 박막의 Etching 및 Polishing 거동|Etching and Polishing Behaviour of Ru Thin Film at Various Slurries Condition
이진형, 이상호, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Molecular biodiode consisting of GFP/Cytochrome c structured fusion protein
장윤형, 남윤석, T. Nagamune, 최정우, 이원홍
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Nanoscale biodevice consisted of self-assembled protein molecules
최정우
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금|Ru electroplating for high-density metal-insulator-metal capacitor
권오중, 김재정|Oh Joong Kwon, Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
