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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Nanomachining by Colloidal Lithography
양승만
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Patterned Arrays of Elliptical Rings with Non-Uniform Width and Their Ferromagnetic Behavior
이수연, 김사라, 김신현, 양승만
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system)
김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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UV-Nano imprint Lithography를 이용한 Metal Pattern제작
박정갑, 이병규, 이두현, 정근희, 김진수, 이창형, 서수정
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture)
백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma)
주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics Of Ta Based Superconducting Tunnel Junction
양민규, 고태국, 이전국
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Additive Soft-Lithographic Patterning of PDMS Resists on Electronic Materials
안희준
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
