화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 표면개질된 질화규소와 금속의 접합|Joining of Surface Modified Si3N4 to Metal
최영민, 공기정, 이정오, 장현주, 류병환
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
4 A Study on Polyelectrolyte at Ceria-water interface for STI CMP
김사라, 소재현, 김남수, 이동준, 양승만
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
3 자전연소합성법(SHS)에 의한 Si3N4의 반응기구와 NaCl 첨가의 영향|A reaction mechanism and effect of NaCl addition on Self-propagating High-temperature Synthesis of Silicon Nitride
임성재, 윤기석, 이종현, 원창환
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
2 AFM을 이용한 Si3N4가 코팅된 Si(100) 표면의 패터닝
최인희, 김창묵, 김영훈, 김진수, 이종협
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
1 CMP 슬러리의 제조 - 콜로이드 화학과 재료의 관점|Preparations of CMP slurry - Colloid chemistry and material aspects
소재현,김남수,임영삼,강경문,이동준|Jae-Hyun So,Nam-Soo Kim,Young-Sam Yim,Kyung-Moon Kang,Dong-Jun Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회