번호 | 제목 |
---|---|
5 |
표면개질된 질화규소와 금속의 접합|Joining of Surface Modified Si3N4 to Metal 최영민, 공기정, 이정오, 장현주, 류병환 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
4 |
A Study on Polyelectrolyte at Ceria-water interface for STI CMP 김사라, 소재현, 김남수, 이동준, 양승만 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
3 |
자전연소합성법(SHS)에 의한 Si3N4의 반응기구와 NaCl 첨가의 영향|A reaction mechanism and effect of NaCl addition on Self-propagating High-temperature Synthesis of Silicon Nitride 임성재, 윤기석, 이종현, 원창환 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
2 |
AFM을 이용한 Si3N4가 코팅된 Si(100) 표면의 패터닝 최인희, 김창묵, 김영훈, 김진수, 이종협 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
1 |
CMP 슬러리의 제조 - 콜로이드 화학과 재료의 관점|Preparations of CMP slurry - Colloid chemistry and material aspects 소재현,김남수,임영삼,강경문,이동준|Jae-Hyun So,Nam-Soo Kim,Young-Sam Yim,Kyung-Moon Kang,Dong-Jun Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |