번호 | 제목 |
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열CVD법에 의한 Silocon tetraacetate로 부터 Silicon dioxide 박막합성|A Study on the Preparation of Silicon dioxide Thin film from Silicon tetraacetate by the thermal CVD 김용석, 신형식, 문희, 박흥철|Yong-Seok Kim, Young-Sik Shin, Hee Moon, Heung-Chul Park 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |