| 146 |
A Study on Stripping High-Dose Implanted Photo Resist
오기준
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 145 |
45nm 반도체 세정기술
조중근
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 144 |
Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 143 |
ALCVD를 이용한 Hf-silicate, Ti-silicate 게이트 산화막 성장 및 특성 연구
이승재, 용기중
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 142 |
HfO2 게이트 유전막을 이용한 GaN 나노선 FET의 특성(Characteristics of GaN nanowire transistors with hafnium oxide dielectrics)
이재웅, 함문호, 명재민
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 141 |
Effect of Alkaline Agent in Colloidal-Silica Slurry on Polysilicon Chemical-Mechanical Polishing Process.
Keum-Seok PARK, Myoung-Yoon LEE, Hyung-Soon PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 140 |
Sputter를 이용하여 상온에서 제작된 고유전 Ti1-xSixO2 게이트 절연막 (Room temperature fabricated high-k Ti1-xSixO2 gate dielectrics prepared by sputtering)
김성연, 함문호, 오병윤, 명재민
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 139 |
열산화 온도에 따른 GaN/Ga2O3 나노 케이블의 특성 변화 (characteristics of GaN/Ga2O3 nanocables by thermal oxidation temperature)
최지혁, 함문호, 명재민
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Printing-based Organic Thin-Film Transistors Using TIPS-pentacene
신중한, 장선필, 윤민호, 최태영, 안보경, 노정훈, 조승환, 송근규, 김영민, 김보성, 신성식
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 137 |
New Molecular and Polymeric Materials and Fabrication Methodologies for Flexible Organic Transistors
Antonio Facchetti
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
