화학공학소재연구정보센터
번호 제목
136 Flexible Display Development Trend : Patterning Methods for Organic Thin Film Transistors
서민철
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
135 Contact Resistance of Metal/Organic Semiconductor and Capacitance–Voltage Characteristics of Metal/Polymer Insulator/Si Structure
이시우
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
134 Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma
이혜원, 주상래, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
133 고집적 메모리 소자 개발을 위한 Hf-silicate 게이트산화막 성장 및 특성 분석
이승재, 용기중
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
132 Characterization of Particle Trap Reaction Products in TiN Deposition Processes
정동훈, 채희엽, 조재효, 홍정의
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
131 Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing.
Yoon-Kweon Choi, Jae-Il Choi, Kyung-Woong PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
130 RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 TiO2:SiO2 박막의 특성(Properties of high-k TiO2:SiO2 films grown by RF magnetron sputter)
김성연, 오병윤, 함문호, 명재민
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
129 Low voltage operating ZnO thin-film transistors with Ni doped BaSrTiO3 high-K gate insulator for transparent and mobile electronics
김정웅, 김영웅, 최덕균, 김일두, 홍재민
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
128 The Growth of the lanthanum oxide thin films for application as a gate oxide by plasma enhanced atomic layer deposition
Jun-Ho Moon, Myoung-Gyun Ko, Eun-Joo Lee, Sang-Kyun Park, Min-Soo Hong, Yoo-Jin Jeon, Jong-Wan Park
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
127 Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method
김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁
한국재료학회 2006년 봄 학술대회