| 번호 | 제목 |
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Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향 최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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Cu(dmamb)2를 이용한 CVD Cu 박막의 제조 시 증착온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향 최종문, 변동진, 이도한, 진성언 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Conformal Cu film growth by pulsed-MOCVD using (hfac)Cu(DMB) and (hfac)Cu(VTMS) 탁영조, 김관수, 용기중 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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MOCVD 공정에 있어서 구리(Ⅰ) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구|Thermal stability and reaction mechanism of Cu(Ⅰ) precursors in the metal organic chemical vapor deposition 박만영, 이시우|Man-Young Park, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
