번호 | 제목 |
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Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications Ju-Hwan Han, Jin-Seong Park 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications Ju-Hwan Han, Jin-Seong Park 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |