화학공학소재연구정보센터
번호 제목
17 고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가
안지혁, 신재수, 안종기, 강고루, 심섭, 김하영, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
16 반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가
안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
15 반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구
최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
14 미래 나노급 반도체 및 대면적 OLED를 위한 증착소재개발의 한계돌파를 위한 복합물성 측정 장비개발
윤주영, 안종기, 심섭, 강고루, 김하영, 김진태, 정낙관, 허훈, 허규용
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회
13 Study on Ar plasma, O2 plasma and O2 thermal treatment on titanium surface for biomedical applications
맹선정, 송제범, 강고루, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2017년 가을 학술대회
12 Enhancement in efficiency of blue organic light-emitting diode by incorporating metal nanoparticles based on localized surface plasmon
남민우, 정낙관, 심섭, 이보금, 강고루, 표성규, 윤주영
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
11 The effect of HfO2 Films using Atomic Layer Deposition in accordance with thermal decomposition temperature of Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium [TEMAHf]
오남근, 안종기, 강고루, 김소연, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
10 QMS 신호의 FFT와 Histogram 분석을 이용한 Al2O3 ALD 공정진단
강고루, 윤주영, 안종기, 오남근, 남민우
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
9 Measuring liquid and vapor composition of mixed precursors for ALD of ZrO2 doped with Al using distillation method
안종기, 심섭, 강고루, 오남근, 김진태, 함성호, 윤주영
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
8 The effect of surface treatment on porous TiO2 used in DSSC using atomic layer deposition techniques of various conditions
강고루, 김태성, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2014년 가을 학술대회