| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가|Low-k SiCOH films by direct plasma CVD with VTMS(vinyltrimethylsilane) 곽상기,이시우|Sang Ki Kwak,Shi Woo Rhee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가|Low-k SiCOH films by direct plasma CVD with VTMS(vinyltrimethylsilane) 곽상기,이시우|Sang Ki Kwak,Shi Woo Rhee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |