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Characteristics of Fluorocarbon Thin Films Deposited in C4F8 and C4F6 Plasmas 권혁규, 지정민, 김창구 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Effects of Power and Pressure on the Optical and Electrical Properties of Flourocarbon Films 지정민, 권혁규, 김창구 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Electrical and Optical Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas 박병훈, 권혁규, 산토시구마르마하파트라, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 김창구 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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Insulating Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas 박병훈, S.K. Mahapatra, 권혁규, 김창구 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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Structural and Morphongical Prorerties of Nitrogen Doped Polysilicon 권혁규, 우상호, 이형무, 김창구, 김일욱, 엄평용, 김해원, 조성길, 최형수, 이동근 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas 이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process 권혁규, 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |