번호 | 제목 |
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유기금속 화학증착법으로 제조된 알루미늄 박막의 증착특성|Properties of Chemically Vapor Deposited Aluminum Prepared From Dimethylethylamine alane 김도형, 임경택, 김병엽, 박진원|Do-Heyoung Kim, Gyeong Taek Lim, Byung-Yup Kim, Jin. W. Park 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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DMEAA 를 이용한 알루미늄 화학증착에서 온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향 김병엽, 이시우 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |