화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 유기금속 화학증착법으로 제조된 알루미늄 박막의 증착특성|Properties of Chemically Vapor Deposited Aluminum Prepared From Dimethylethylamine alane
김도형, 임경택, 김병엽, 박진원|Do-Heyoung Kim, Gyeong Taek Lim, Byung-Yup Kim, Jin. W. Park
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
1 DMEAA 를 이용한 알루미늄 화학증착에서 온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향
김병엽, 이시우
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회