화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 원자층증착법을 이용한 수직채널 산화물반도체 박막트랜지스터 제작 및 평가
김여명, 김기현, 윤성민
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
1 HfO2 게이트 절연막의 원자층 증착법 공정온도에 따른 In-Ga-Zn-O 박막트랜지스터 특성의 비교평가
나소영, 윤성민, 김여명, 윤다정
한국재료학회 2017년 봄 학술대회