| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
챔버 내구성 향상을 위한 코팅층 열응력 해석 정희숙, 송형운 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
| 1 |
니켈합금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 평가 정희숙, 송형운 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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챔버 내구성 향상을 위한 코팅층 열응력 해석 정희숙, 송형운 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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니켈합금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 평가 정희숙, 송형운 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |