번호 | 제목 |
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Multi-functional plasma polymer nano thin film fabricated by large scale continuous roll-to-roll sputtering 이상진, 김성현, 강태운, 조성근, 이재흥 한국고분자학회 2017년 봄 학술대회 |
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대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구 서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |