화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Multi-functional plasma polymer nano thin film fabricated by large scale continuous roll-to-roll sputtering
이상진, 김성현, 강태운, 조성근, 이재흥
한국고분자학회 2017년 봄 학술대회
1 대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구
서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영
한국재료학회 2013년 봄 학술대회