번호 | 제목 |
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유도결합 리모트 플라즈마를 이용한 MoS2 의 chlorine doping 및 광전특성 제어에 관한 연구 강지은, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
3 |
플라즈마를 이용한 그래핀의 무결함 질소 도핑과 라만 특성평가 이병주, 정구환 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
2 |
리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용 Hyeongtag Jeon, Hyungchul Kim 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구|The Characteristics of HfO2 Thin High-k Gate Oxide Deposited by Direct and Remote Plasma Atomic Layer Deposition Methods. 김인회, 국승우, 김석훈, 전형탁 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |