| 번호 | 제목 |
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MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성 백정호, 박준식, 이혜진, 이낙규, 강성군 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 마이크로 인장시편의 제조|Fabrication of Micro Tensile Test Specimens of Single Crystal Silicon Using MEMS Processes 전창성, 박준식, 이상렬, 이낙규, 이혜진, 윤대원, 강성군 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
