| 번호 | 제목 |
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Silicon-on-insulator(SOI) 기판이 3C-SiC/Si 박막 내의 잔류응력에 미치는 영향|Effects of silicon-on-insulator(SOI) substrates on the residual stress within 3C-SiC/Si thin films 박주훈, 이병택, 장성주, 송호준, 김영만, 문찬기 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Silicon-on-insulator(SOI) 기판이 3C-SiC/Si 박막 내의 잔류응력에 미치는 영향|Effects of silicon-on-insulator(SOI) substrates on the residual stress within 3C-SiC/Si thin films 박주훈, 이병택, 장성주, 송호준, 김영만, 문찬기 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |