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Effect of rf-sputtered indium zinc oxide thin films on efficiency of dye sensitized solar cell with low temperature process
리유에롱, 민수련, 조한나, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Indium zinc oxide thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering for fabrication of flexible dye sensitized solar cell
리유에롱, 조한나, 민수련, 노수진, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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C2F6/Ar 가스를 이용한 TiO2 박막의 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각
조한나, 민수련, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma
조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각
민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Influence of sputtering parameters on the optical and electrical properties of rf–sputtered In2O3-ZnO films
리유에롱, 민수련, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
