| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 3 |
Effect of Gas Injection in Inductively Coupled Plasma with Fluorocarbon Plasma using Computational Fluid Dynamic Simulation 황진하, 김대경, 김민식, 박근주, 채희엽 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
| 2 |
Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주, 채환국 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
