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마이크로볼로미터 적외선 센서용 VOx 박막 제조 및 특성 분석
김운정, 한승익, 신희철, 임석원, 서형탁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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스마트윈도우용 금속 기반 전극층 상의 상대적 고저항 박막의 조건 확보
박재성, 황도연
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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화학증착소재(precursor)의 열분해에 따른 특성 연구
이수연, 최은미, 맹선정, 김하영, 박지원, 허영우, 윤주영
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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반도체 증착소재 복합물성 측정기술 및 장비 개발
최은미, 김하영, 안지혁, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가
안지혁, 신재수, 안종기, 강고루, 심섭, 김하영, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가
안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구
최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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OTFT의 용액공정을 위해 가교 된 polystyrene 유전체 박막 특성
신성준, 김경훈, 김세현, 안태규, 이지훈
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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시트르산염 첨가에 따른 비진공 증착기법을 이용한 CZTS 박막 특성 연구
김치호, 정창욱, 석창규, 권일영, 김양도
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구
송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
