번호 | 제목 |
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Czochralski 공정에서의 DMC를 이용한 Feedforward 제어기 설계 및 현장 적용 박진국, 이문용, 이기홍 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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대직경·무결점 실리콘 wafer 생산을 위한 Power Control Mode 개발|Development of Power Control Mode for Large Diameter/No defection Silicon Wafer Production 김재훈, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권|Jaehoon Kim, Jae Hak Jung, Moonyong Lee, Jinguk Park, Jikwon Sohn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Czochralski 결정성장로 공정에서의 Temperature Target Profile 자동 개선을 위한 Dynamic Matrix Control의 적용|Real Application and Improvement of Dynamic Matrix Control for Temperature Target Profile of Czochralski Crystal Growth Process 이동기, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권|Dongki Lee, Jaehak Jung, Moonyong Lee, Jinguk Park, Jikwon Sohn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Czochralski 결정성장로 공정의 제어시스템 개선 및 현장적용|Real Application and Improvement of Control System for Czochralski Crystal Growth Process 김재훈, 이동기, 김양진, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권|Jaehoon Kim, Dongki Lee, Yangjin Kim, Jae Hak Jung, Moonyong Lee, Jinguk Park, Jikwon Sohn 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |