| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 5 |
3D NAND 구조내의 Si3N4의 선택적 식각을 통한패턴 SiO2 식각 제어 손창진, 김태현, 박태건, 임상우 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 4 |
TMAH 용액의 Poly-Si 식각 kinetic 연구 박태건, 임상우 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 3 |
3D NAND에서 Si3N4 선택적 식각 중 발생하는 산화물 재성장 현상 연구 김태현, 손창진, 박태건, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
| 2 |
인산 기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각의 고온에서의 경향 연구 박태건, 김태현, 손창진, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
| 1 |
제1원리와 실험을 통한 인산기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각 메카니즘 규명 박태건, 임상우 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
