번호 | 제목 |
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3-D PTV 기술 및 CFD code를 이용한 반도체 세정 Bath내의 유동현상 측정 및 해석|The Measurement and Analysis of Phenomenological Fluid Motion in the Cleaning Bath for Semiconductor Process Using 3-D PTV Technique & CFD 강운용, 이민수, 함승주, 박헌휘|Woon-Yong Kang, Min-Soo Lee, Seung-Joo Haam, Hun-Hyee Park 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |