번호 | 제목 |
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9 |
합성온도에 따른 알루미늄계 촉매의 표면형상과 NF3 가수분해반응에서의 활성평가 이진욱, 이태진, 박창준, 최원영, 김민정, 정용한, 박노국, 장원철 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
8 |
NF3 가수분해를 위한 알루미나계 촉매의 장시간 성능 평가 이진욱, 김민정, 박창준, 최원영, 정용한, 이태진, 박노국, 장원철 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
7 |
고체 산 촉매에 의한 NF3 가수 분해에서의 스팀공급량의 영향 장원철, 박노국, 이태진, 김민정, 최원영, 박창준, 이태훈, 성연백, 이진욱 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
6 |
반도체 제조공정에서 배출되는 NF3의 가수분해를 위한 Sulfate 담지 알루미나의 촉매활성 이진욱, 성연백, 이태훈, 김민정, 박창준, 최원영, 이태진, 박노국, 장원철, 최희영 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
5 |
반도체 세정에 사용되는 NF3의 ZrO2 촉매 상에서의 가수분해 반응 이진욱, 성연백, 이태훈, 김민정, 박창준, 최원영, 이태진, 박노국, 장원철 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
4 |
γ-alumina 촉매상에서 NF3의 가수분해 및 분해생성물 조사 김용술, 지찬태, 이태훈, 성연백, 박노국, 이태진, 장원철, 최희영 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
3 |
다양한 금속산화물 촉매상에서 가수분해에 의한 NF3의 촉매분해 김용술, 박노국, 이태진, 장원철 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
2 |
황산담지 알루미나를 이용한 NF3 촉매가수분해 이태훈, 김용술, 지찬태, 성연백, 박노국, 이태진, 최희영, 장원철 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
1 |
반도체 LCD 공정 배출 불화온실가스의 급격한 부하 변동 및 주기 특성을 반영한 저감기술 성능평가 강남구, 김종우, 허귀석, 김동수, 이선구 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |