| 번호 | 제목 |
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Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process 김채선, 이혜지, 박태균, 선종우, 노해랑, 이종민 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
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반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas 선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
