번호 | 제목 |
---|---|
32 |
Dry cleaning of silicon oxide using OF2/NH3 remote plasma 김주은, 이원오, 김두산, 박진우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
31 |
무기물에 의한 막 오염 현상 제어를 위한 초음파 세정 가능성 평가 이상호, 조형락, 최지혁, 최용준 한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
30 |
반도체 습식 세정 기술 개발 동향 및 계면화학을 응용한 세정제 개발 송명근 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
29 |
EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구 송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
28 |
해수담수화용 역삼투막의 미세기포를 이용한 세정기술 적용 김동진, 강신경, 조하영, 이재우, 문일식 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
27 |
High Mobility GaSb 반도체 표면의 습식 산화 거동 파악 서동완, 이진훈, 나지훈, 임상우 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
26 |
Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구 송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
25 |
유기물 코팅을 이용한 양자점 표면 처리 연구A Study of QD Surface Treatment by Organic Coating 박현수, 최재영, 최은석, 이찬기, 김범성, 이재원, 김우병 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
24 |
기능수 세정액을 이용한 메가소닉의 주파수 변화에 따른 미세오염입자 제거에 대한 연구 최인찬, 이준, 김민수, 박진구 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
23 |
초음파를 이용한 판형열교환기 비분리식 세정기술 개발 안은정, 최광근, 곽승신, 김경민 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |