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Al2O3 ALD 게이트 절연막 적용 4H-SiC 기반 전력 소자 연구
최경근, 김성규
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D simulation of Si-melt flow patterns and their effects on crystal quality in the horizontal magnetic Czhochralski
송도원, 정호섭, 오현정
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas
박정근, 김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of F/C ratio in discharge gases on the angular dependence of etch rates of SiO2
조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Morphological Effect of TiO2 nano films on the performance of ploymer solar cell
조현수, 김현철, 김현섭, 김도형
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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알칼리성 슬러리를 이용한 단결정 및 다결정 실리콘의 화학적 기계적 연마 특성 평가
김혁민, 권태영, 조병준, R. Prasanna Venkatesh, 박진구
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Control of RIE lag in Si etching
신우식, 김창구
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Angular dependence of SiO2 etch rates in C4F6/Ar/O2 and C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas
조성운, 김창구
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
