| 번호 | 제목 |
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Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of SiO2 Thin Film 송소영, 박동화, 박영배 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Remote plasma를 이용한 TiO2 박막 증착 및 특성분석|The characteristics of TiO2 thin film deposited by remote plasma 안경호,송소영,박동화|Kyoung-ho Ahn,So-young Song,Dong-wha Park 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
