번호 | 제목 |
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5 |
루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화 윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
4 |
Co/Ni 복합실리사이드의 FIB를 이용한 나노배선 구조의 형상 분석|Characterization of Nano Interconnect Structure in Co/Ni Composite Silicide using on FIB 김상엽, 송오성 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
3 |
게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application 김상엽, 송오성, 정영순 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
2 |
코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide 정영순, 송오성 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
1 |
직접접합 Si3N4∥SiO2 실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드결함 제거|Eliminating Voids using a Fast Linear Annealing in Direct Bonded Si/Si3N4∥SiO2/Si Wafer Paires 정영순, 송오성 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |