화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 원자층 증착 공정으로 형성된 SnO2 박막에 대한 Al2O3 슈퍼사이클 효과
김지웅, 이왕곤, 안영환, 김지수, 서형탁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
1 Super-Cycle 기반의 ALD TaAlN 금속 박막 형성 및 특성
최문석, 이주현, 김민혁, 김위남, 최창환
한국재료학회 2020년 봄 학술대회