| 번호 | 제목 |
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식각용액 내의 염화구리 농도에 따른 COF 배선 전극의 스프레이 습식 에칭 특성 변화 이도경, 정지혜, 조연주, 정도윤, 김강범, 강지훈, 오상덕 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
| 6 |
첨가물을 통한 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 임상우, 서동완, 박찬형 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 5 |
nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구 오지숙, 배진성, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 4 |
nMOS high-k gate stack 형성을 위한 capping layer의 선택적 에칭 오지숙, 배진성, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 3 |
Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 2 |
Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식에칭기술 연구 정준의, 윤미현, 오지숙, 임상우 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
| 1 |
pMOS gate stack capping layer의 고선택비 습식에칭 기술연구 오지숙, 윤미현, 임상우 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
