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높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가
안형주, 우지훈, 구예진, 이진균
한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
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군집 분석 기법을 통한 플라즈마 식각 공정의 식각 종말점 검출
이성현, 채희엽, 최호준, 김재현
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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요크-쉘 구조를 갖는 SiO2@NPC 리튬 이온 배터리 음극재 합성 및 전기화학적 특성
민경석, 고요한, 민소정, 백성현
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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3.3 kV급 이상 고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정 최적화를 위한 식각공정 분석
최규철, 김덕열, 김봉환, 장상목
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol
이유종, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Etching of SiO2 in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol
선은재, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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NF3 플라즈마 및 Trimethylaluminum을 사용한 Al2O3의 등방성 원자층 식각
강호진, 하희주, 이형우, 김용재, 채희엽
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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메탄올 전기산화 적용을 위한 메조 기공구조의 중공형 질화티타늄 나노 구조체 합성
김윤희, 주지봉, 김지율, 최동섭, 김나연, 장현성, 이현경
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
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유리보호용 내산성 아크릴계 코팅제 제조
이철우
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
