| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 8 |
하이브리드 플라즈마를 이용한 구리산화물 제거 및 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2011년 봄 학술대회 |
| 7 |
상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
| 6 |
반도체 후공정에서 세정공정 및 세정액 특성 평가 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
| 5 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 4 |
BEOL 공정에서의 Cu의 부식 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 3 |
반도체 후공정 세정액 특성 연구 고천광, 원동수, 김태경, 손향호, 이원규 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 2 |
용액에 포함된 Amine과 Carboxyl group의 Cu식각잔류물 제거특성 고천광, 김아름, 손향호, 이원규 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 1 |
A Comparative Study on Atomic Layer Etching of Chlorinated-Silicon Surfaces in Argon and Helium Plasmas 정희석, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
