| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
BEOL 공정에서의 Cu의 부식 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
BEOL 공정에서의 Cu의 부식 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |